簡要描述:武漢半導(dǎo)體芯片晶圓明暗場金相測量顯微鏡專為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,具有良好微分干涉效果。采用全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
武漢半導(dǎo)體芯片晶圓明暗場金相測量顯微鏡性能
1.光學(xué)部件均經(jīng)過特殊處理并鍍有特殊膜層
2.大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美
3.大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù)。
4.各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像
5.多種高度功能化的附件,能滿足半導(dǎo)體檢查各種場景需要。
武漢半導(dǎo)體芯片晶圓明暗場金相測量顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
1.物鏡參數(shù)
名稱 | 倍率 | 數(shù)值孔徑 | 工作距離 |
45mm 明暗場物鏡 | 5X | 0.15 | 14.8mm |
10X | 0.30 | 8.5mm | |
20X | 0.45 | 11.9mm | |
50X | 0.75 | 3.0mm | |
100X | 0.80 | 3.0mm |
2.目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù):五孔旋轉(zhuǎn)器,標(biāo)配5X、10X、20X、50X明暗場無限遠(yuǎn)半復(fù)消色差金相物鏡(可選配100X)
標(biāo)配手動鼻輪(可選配電動鼻輪)
◆目鏡放大倍數(shù):10X( 單、雙目同,PL10X25mm)
◆總放大倍數(shù): 50X-500X(包括畸變在內(nèi)的)
5孔編碼型明暗場物鏡轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽),
編碼型物鏡轉(zhuǎn)換器將顯微鏡的硬件設(shè)置與歐米特圖像分析軟件整合在一起。屏幕上顯示物鏡的放大倍率,同時切換倍率時也能自動調(diào)整軟件中記錄的校準(zhǔn)值,杜絕忘記切換軟件倍率造成的測量錯誤。
3.影像系統(tǒng)
◆攝像機(jī)接口:C型接口,可調(diào)焦
◆CCD:630萬高清數(shù)字相機(jī)(自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測)
◆綜合影像最大放大倍數(shù):1000X以上
使用注意事項(xiàng):
1.在松開每個鎖緊螺絲時,必須用手托住相應(yīng)部分,以免其墜落和受沖擊。
2.注意防止回程誤差,由于螺絲和螺母不可能密合,螺旋轉(zhuǎn)動方向改變時,它的接觸狀態(tài)也改變,兩次讀數(shù)將不同,由此產(chǎn)生的誤差叫回程誤差。為防止此誤差,測量時應(yīng)向同一方向轉(zhuǎn)動,使十字線和目標(biāo)對準(zhǔn),若移動十字線超過了目標(biāo),就要多退回一些,重新再向同一方向轉(zhuǎn)動。