簡(jiǎn)要描述:大平臺(tái)晶圓線路板檢查測(cè)量顯微鏡旋轉(zhuǎn)輪上刻有1000個(gè)等分格,每格為1微米,當(dāng)旋轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動(dòng)一周時(shí),顯微鏡沿Z軸尺移動(dòng)微米,當(dāng)旋轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)過(guò)1個(gè)等分格,顯微鏡就沿標(biāo)尺移動(dòng)0.001mm。方便細(xì)小型樣品聚焦清晰。
大平臺(tái)晶圓線路板檢查測(cè)量顯微鏡測(cè)量與讀數(shù)
1.調(diào)節(jié)目鏡進(jìn)行視場(chǎng)調(diào)整,使顯微鏡十字線最清晰即可;轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)焦手輪,從目鏡中觀測(cè),使被測(cè)工件成像清晰;可調(diào)整被測(cè)工件,使被測(cè)工件的一個(gè)橫截面和顯微鏡移動(dòng)方向平行。
2.轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)輪可以調(diào)節(jié)十字豎線對(duì)準(zhǔn)被測(cè)工件的起點(diǎn),在標(biāo)尺上讀取毫米的整數(shù)部分,在旋轉(zhuǎn)輪上讀取毫米以下的小數(shù)部分。兩次讀數(shù)之和是此點(diǎn)的讀數(shù)A。
3.沿著同方向轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)輪,使十字豎線恰好停止于被測(cè)工件的終點(diǎn)讀數(shù)A′,記下此時(shí)所測(cè)量工件的長(zhǎng)度。
大平臺(tái)晶圓線路板檢查測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
1.主體規(guī)格
◆X坐標(biāo)行程: 310(mm)
◆Y坐標(biāo)行程: 310(mm)
◆Z坐標(biāo)行程: 50(mm)
◆操控方式:XY手動(dòng)同軸低手位粗微調(diào)可切換(帶快速移動(dòng))
Z軸手脈電動(dòng)操控(快上-快下-中檔-慢檔切換)
◆反射照明光源:
明暗場(chǎng)反射照明器,帶明暗場(chǎng)照明切換裝置;
可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心,帶濾色片插槽與偏光裝置插槽。
可根據(jù)客戶產(chǎn)品不同而選擇DIC微分干涉功能。
2.目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù):五孔旋轉(zhuǎn)器,標(biāo)配5X、10X、20X、50X明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡(可選配100X)
標(biāo)配手動(dòng)鼻輪(可選配電動(dòng)鼻輪)
◆目鏡放大倍數(shù):10X( 單、雙目同,PL10X25mm)
◆總放大倍數(shù): 50X-500X(包括畸變?cè)趦?nèi)的)
3.影像系統(tǒng)
◆攝像機(jī)接口:C型接口,可調(diào)焦
◆CCD:630萬(wàn)高清數(shù)字相機(jī)(自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測(cè))
◆綜合影像最大放大倍數(shù):1000X以上
使用注意事項(xiàng):
1.在松開(kāi)每個(gè)鎖緊螺絲時(shí),必須用手托住相應(yīng)部分,以免其墜落和受沖擊。
2.注意防止回程誤差,由于螺絲和螺母不可能密合,螺旋轉(zhuǎn)動(dòng)方向改變時(shí),它的接觸狀態(tài)也改變,兩次讀數(shù)將不同,由此產(chǎn)生的誤差叫回程誤差。為防止此誤差,測(cè)量時(shí)應(yīng)向同一方向轉(zhuǎn)動(dòng),使十字線和目標(biāo)對(duì)準(zhǔn),若移動(dòng)十字線超過(guò)了目標(biāo),就要多退回一些,重新再向同一方向轉(zhuǎn)動(dòng)。